掩模數(shù)據(jù)切割方法和裝置、設(shè)備及存儲(chǔ)介質(zhì)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110607431.4 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN113378507A 公開（公告）日 2021-09-10
申請(qǐng)公布號(hào) CN113378507A 申請(qǐng)公布日 2021-09-10
分類號(hào) G06F30/392（2020.01）I;G06F30/398（2020.01）I 分類 計(jì)算；推算；計(jì)數(shù);
發(fā)明人 張榮佳;韓春營(yíng);俞宗強(qiáng);蔣俊海 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 中科晶源微電子技術(shù)（北京）有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京市鼎立東審知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 陳佳妹;朱慧娟
地址 102600北京市大興區(qū)北京經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)經(jīng)海四路156號(hào)院12號(hào)樓5層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請(qǐng)公開了一種掩模數(shù)據(jù)切割方法，該方法通過(guò)遍歷掩模上的每一個(gè)多邊形得到多個(gè)凹角，對(duì)每一個(gè)多邊形內(nèi)的凹角進(jìn)行匹配得到多個(gè)弦，從多個(gè)弦中篩選獨(dú)立弦，使用獨(dú)立弦對(duì)多邊形進(jìn)行切割得到子多邊形，其中，獨(dú)立弦為不與其他弦相交的弦，則不進(jìn)行切割，將子多邊形中未匹配的凹角引出兩條射線至子多邊形的邊緣處，通過(guò)每條射線之間的交點(diǎn)將射線劃分為多個(gè)段，從多個(gè)段中選擇候選段進(jìn)行貪婪選擇算法得到切割段，其中，候選段為與凹角相接的段，通過(guò)切割段將掩模切割為多個(gè)矩形。引入了對(duì)切割后得到的細(xì)條矩形的考慮，以及考慮真正對(duì)關(guān)鍵尺寸誤差有影響的細(xì)條矩形的長(zhǎng)度而不是數(shù)量來(lái)提升掩模版曝光良率，從而提升了效率。