用于電子束缺陷檢測的像素尺寸校準方法和裝置及設(shè)備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110583651.8 申請日 -
公開（公告）號 CN113379622A 公開（公告）日 2021-09-10
申請公布號 CN113379622A 申請公布日 2021-09-10
分類號 G06T5/00（2006.01）I;G06T7/00（2017.01）I;G06T7/62（2017.01）I;G06K9/62（2006.01）I 分類 計算；推算；計數(shù);
發(fā)明人 甘遠;韓春營;楊彩虹;薛磊;嚴鋒;俞宗強 申請（專利權(quán)）人 中科晶源微電子技術(shù)（北京）有限公司
代理機構(gòu) 北京市鼎立東審知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 陳佳妹;朱慧娟
地址 102600北京市大興區(qū)北京經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)經(jīng)海四路156號院12號樓5層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請涉及一種用于電子束缺陷檢測的像素尺寸校準方法和裝置及設(shè)備，包括：讀取所創(chuàng)建的標記點模板在工作臺上的位置；控制工作臺移動至以標記點模板在工作臺上的位置為中心所確定的圖像匹配點位置處，并獲取工作臺移動至圖像匹配點位置后的圖像作為校準圖像；根據(jù)標記點模板和校準圖像，得到校準圖像的像素偏差數(shù)；基于像素偏差數(shù)，得到當前用于電子束缺陷檢測的像素尺寸。其不需要人工計算標準尺寸常量在橫向和縱向方向所占的像素數(shù)，能夠?qū)崿F(xiàn)全自動的校準過程，這也就避免了人為因素對校準結(jié)果的影響，更進一步地提高了校準結(jié)果的精確度。