一種TiAlSiN超硬梯度涂層的制備方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201510237876.2 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN104862652B 公開（公告）日 2017-01-18
申請(qǐng)公布號(hào) CN104862652B 申請(qǐng)公布日 2017-01-18
分類號(hào) C23C14/32(2006.01)I;C23C14/06(2006.01)I;C23C14/54(2006.01)I 分類 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 張而耕;陳強(qiáng) 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 馬鞍山綠丞復(fù)合材料產(chǎn)業(yè)工程研究院有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海申匯專利代理有限公司 代理人 上海應(yīng)用技術(shù)學(xué)院;馬鞍山精耕新材料科技有限公司;馬鞍山綠丞復(fù)合材料產(chǎn)業(yè)工程研究院有限公司
地址 200235 上海市徐匯區(qū)漕寶路120號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明一種TiAlSiN超硬梯度涂層的制備方法，包括一個(gè)對(duì)工件表面進(jìn)行噴砂和清洗的步驟，一個(gè)采用陰極離子鍍工藝對(duì)工件鍍制TiAlSiN超硬梯度涂層的步驟，包括六個(gè)階段，第一階段制備Ti打底涂層；第二階段制備TiN梯度涂層，第三階段制備TiAl梯度涂層，第四階段制備TiAlN梯度涂層，第五階段制備SiN梯度涂層，第六階段制備TiSiN梯度涂層，最后對(duì)涂層表面進(jìn)行拋光處理。通過(guò)本發(fā)明的方法制備的TiAlSiN梯度涂層的彈性模量可達(dá)340GPa，耐高溫氧化溫度可達(dá)1200℃，可實(shí)現(xiàn)對(duì)硬度為HRC60以上的淬火鋼等工件進(jìn)行高速切削加工，大幅度提高了刀具的使用壽命。