一種MEMS微型拉曼光譜儀

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201720271500.8 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN207020083U 公開（公告）日 2018-02-16
申請(qǐng)公布號(hào) CN207020083U 申請(qǐng)公布日 2018-02-16
分類號(hào) G01N21/65 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 聶新明;田亞平;韓彩芹;朱超 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 徐州市江蘇師范大學(xué)激光科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京科億知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 江蘇師范大學(xué)
地址 221000 江蘇省徐州市銅山新區(qū)上海路101號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種MEMS微型拉曼光譜儀，包括采樣模塊、控制顯示模塊、MEMS色散模塊，本實(shí)用新型的各個(gè)模塊的集成程度更高，更容易縮小設(shè)備體積，可以做成手持式光譜儀，而且本實(shí)用新型可以對(duì)激光照明系統(tǒng)與拉曼散射光的透鏡共光路產(chǎn)生的雜散光進(jìn)行嚴(yán)格的抑制，本實(shí)用新型采用嵌入式操作系統(tǒng)完成數(shù)據(jù)處理功能，可以實(shí)現(xiàn)手持式使用，完全脫離電腦而獨(dú)立工作，本實(shí)用新型采用采用MEMS技術(shù)光柵與可動(dòng)F?P腔集成的色散，可以保證在較寬的自由光譜范圍的同時(shí)，又能夠獲得較窄的半峰全寬，獲得高的光譜分辨率。