一種精度測量校準(zhǔn)系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202123114974.7 申請日 -
公開（公告）號 CN216645228U 公開（公告）日 2022-05-31
申請公布號 CN216645228U 申請公布日 2022-05-31
分類號 G01B11/00（2006.01）I;G01B11/06（2006.01）I;G01B11/28（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 雷偉莊 申請（專利權(quán)）人 微見智能封裝技術(shù)（深圳）有限公司
代理機(jī)構(gòu) 深圳市智享知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 -
地址 518000廣東省深圳市南山區(qū)南山街道登良社區(qū)南光路13號中興工業(yè)城綜合樓7層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型涉及精度測量領(lǐng)域，特別涉及一種精度測量校準(zhǔn)系統(tǒng)，用于安裝在固晶機(jī)上對芯片及基板進(jìn)行校準(zhǔn)，包括信號連接的數(shù)據(jù)處理模塊和視覺模塊以及調(diào)節(jié)裝置；所述視覺模塊設(shè)于所述調(diào)節(jié)裝置上用于實(shí)時(shí)獲取芯片及基板的圖像信息，包括第一視覺組件及第二視覺組件，標(biāo)的影像的光線被所述第一視覺組件接收，或在所述調(diào)節(jié)裝置的作用下更改光路以被所述第二視覺組件接收，所述數(shù)據(jù)處理模塊用于對視覺模塊獲取的數(shù)據(jù)進(jìn)行處理，然后根據(jù)處理結(jié)果對固晶機(jī)進(jìn)行校準(zhǔn)；本實(shí)用新型的精度測量校準(zhǔn)系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)了對固晶后的芯片及基板進(jìn)行即時(shí)檢測的功能，靈敏度高、及時(shí)性強(qiáng)，且檢測精度和檢測效率高。