一種基于叉指型電極結(jié)構(gòu)的石墨烯光電探測(cè)器

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201911110835.1 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN110854234A 公開(kāi)（公告）日 2020-02-28
申請(qǐng)公布號(hào) CN110854234A 申請(qǐng)公布日 2020-02-28
分類號(hào) H01L31/102;H01L31/0232;H01L31/0224 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 張少先;劉永;慕颯米;杜明;李俠 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 蘇州楓橋光電科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 南京縱橫知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 蘇州楓橋光電科技有限公司
地址 215000 江蘇省蘇州市高新區(qū)向街8號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種基于叉指型電極結(jié)構(gòu)的石墨烯光電探測(cè)器，所述光電探測(cè)器包括襯底層、以及設(shè)置在所述襯底層上的光波導(dǎo)，所述光波導(dǎo)上設(shè)置有介質(zhì)隔離層，所述介質(zhì)隔離層上設(shè)置有兩片相互不接觸的金屬層，兩片所述金屬層作為電極；兩片所述金屬層上設(shè)置有石墨烯層，石墨烯層作為光吸收層。本發(fā)明提供了一種與CMOS工藝兼容，且具有高性能的基于叉指型電極石墨烯光電探測(cè)器。