一種3D NAND結(jié)構(gòu)片干法蝕刻后的深溝槽清洗液

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202011395597.6 申請日 -
公開（公告）號 CN112592777B 公開（公告）日 2021-09-07
申請公布號 CN112592777B 申請公布日 2021-09-07
分類號 C11D7/32;C11D7/08;C11D7/60;C07F7/10 分類 動物或植物油、脂、脂肪物質(zhì)或蠟；由此制取的脂肪酸；洗滌劑；蠟燭;
發(fā)明人 馮凱;賀兆波;王書萍;張庭;尹印;萬楊陽;鐘昌東;李鑫;倪高國 申請（專利權(quán)）人 湖北興福電子材料有限公司
代理機(jī)構(gòu) 宜昌市三峽專利事務(wù)所 代理人 成鋼
地址 443007 湖北省宜昌市猇亭區(qū)猇亭大道66-3號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種3DNAND結(jié)構(gòu)片干法蝕刻后的深溝槽清洗液，該清洗液的主要成分包括占清洗液10?40質(zhì)量%硝酸、0.1?0.5質(zhì)量%氫氟酸、0.01?0.5質(zhì)量%氟硅改性仲胺類有機(jī)物，0.1?5質(zhì)量%醇胺類緩蝕劑，其余為水。該清洗液能將3DNAND結(jié)構(gòu)片干法蝕刻的深溝槽深寬比80:1及以下的深溝槽側(cè)壁聚合物殘?jiān)焖偾逑锤蓛簟?/td>