一種低選擇性的BPSG和PETEOS薄膜的蝕刻液

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202011181031.3 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN112410036B 公開(kāi)（公告）日 2021-09-07
申請(qǐng)公布號(hào) CN112410036B 申請(qǐng)公布日 2021-09-07
分類(lèi)號(hào) C09K13/08;C09K13/10;H01L21/311 分類(lèi) 染料；涂料；拋光劑；天然樹(shù)脂；黏合劑；其他類(lèi)目不包含的組合物；其他類(lèi)目不包含的材料的應(yīng)用;
發(fā)明人 張庭;賀兆波;郝曉斌;李鑫;萬(wàn)楊陽(yáng);王書(shū)萍 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 湖北興福電子材料有限公司
代理機(jī)構(gòu) 宜昌市三峽專(zhuān)利事務(wù)所 代理人 成鋼
地址 443007 湖北省宜昌市猇亭區(qū)猇亭大道66-3號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種低選擇性的BPSG和PETEOS薄膜的蝕刻液，主要成分包括氫氟酸、有機(jī)溶劑、含氟化合物、胺類(lèi)。本發(fā)明的蝕刻液中氫氟酸用于蝕刻BPSG和PETEOS薄膜；有機(jī)溶劑用于降低蝕刻液對(duì)BPSG和PETEOS薄膜的蝕刻速率，使蝕刻反應(yīng)易于控制；含氟化合物作為氟離子緩釋劑，提供氟離子，穩(wěn)定蝕刻液的蝕刻速率和延長(zhǎng)蝕刻液的使用壽命；胺類(lèi)用于降低BPSG薄膜的蝕刻速率，使BPSG和PETEOS薄膜的蝕刻速率選擇比接近于1。本發(fā)明所述的蝕刻液能夠使BPSG和PETEOS薄膜的蝕刻速率選擇比穩(wěn)定在1.1±0.2。