一種用熱絲法制備TiC涂層的高溫化學(xué)氣相沉積裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201320404896.0 申請日 -
公開（公告）號 CN203346470U 公開（公告）日 2013-12-18
申請公布號 CN203346470U 申請公布日 2013-12-18
分類號 C23C16/32(2006.01)I;C23C16/44(2006.01)I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 胡東平;劉偉;李建國;季錫林 申請（專利權(quán)）人 四川久鉆科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京天奇智新知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 中國工程物理研究院總體工程研究所;四川中物超硬材料有限公司
地址 621908 四川省綿陽市綿山路64號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種用熱絲法制備的涂層的高溫化學(xué)氣相沉積裝置，包括進(jìn)氣系統(tǒng)和真空系統(tǒng)，真空系統(tǒng)包括真空腔體和耐酸機(jī)械泵，耐酸機(jī)械泵的液相出口與真空腔體的液相進(jìn)口連接，進(jìn)氣系統(tǒng)包括氬氣瓶、甲烷瓶、氬氣瓶、四氯化鈦密封瓶和混氣室，氬氣瓶的出口與四氯化鈦密封瓶的進(jìn)口連接，四氯化鈦密封瓶的出口與混氣室的進(jìn)口連接，真空腔體內(nèi)設(shè)置有加熱鎢絲，加熱鎢絲設(shè)置在電極上，電極上外接有直流電源。本實(shí)用新型采用化學(xué)氣相沉積法和物理氣相沉積相結(jié)合的方式避免了η相生成及腔體污染,減少了涂層內(nèi)應(yīng)力，可使硬質(zhì)合金基體溫度降低至600℃左右，制備涂層的顆粒尺寸降低，達(dá)到納米級，提高納米TiC涂層表面光潔度、耐高溫性能。