半導(dǎo)體材料清洗裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202020975309.3 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN212652271U | 公開（公告）日 | 2021-03-05 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN212652271U | 申請(qǐng)公布日 | 2021-03-05 |
| 分類號(hào) | B08B3/02(2006.01)I;F26B21/00(2006.01)I;B08B13/00(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I;B08B3/08(2006.01)I | 分類 | 清潔; |
| 發(fā)明人 | 盧鵬薦;曾小龍;張林 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 武漢拓材科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 湖北天領(lǐng)艾匹律師事務(wù)所 | 代理人 | 胡振宇 |
| 地址 | 436032湖北省鄂州市葛店開發(fā)區(qū)光谷聯(lián)合科技城C3-3棟 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開了半導(dǎo)體材料清洗裝置，屬于材料清洗技術(shù)領(lǐng)域，其包括散熱箱，所述散熱箱的上表面與清洗箱的下表面固定連接，所述清洗箱的左側(cè)面與供液箱的右側(cè)面固定連接，所述散熱箱的下表面與電機(jī)的上表面固定連接。該半導(dǎo)體材料清洗裝置，通過設(shè)置加熱器、電機(jī)和轉(zhuǎn)盤，控制面板控制不同導(dǎo)液管表面的電磁閥，使其水泵抽出不同儲(chǔ)液罐內(nèi)的溶液，隨后溶液在加熱器加熱到預(yù)定溫度后，通過匯聚管進(jìn)入清理管內(nèi)，隨后在清理管內(nèi)部加壓并通過噴淋頭噴出，依次通過不同溶液進(jìn)行化學(xué)清洗、蒸餾純水沖洗和去離子水沖洗的步驟，水流通過弧形漏水板迅速流出，并匯聚到廢液回收盒內(nèi)，同時(shí)電機(jī)通過轉(zhuǎn)盤帶動(dòng)晶圓片緩慢旋轉(zhuǎn)，使其清洗更為均勻充分。?? |
