一種高純碲化鎵多晶合成生產(chǎn)裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110777597.0 申請日 -
公開（公告）號 CN113481604A 公開（公告）日 2021-10-08
申請公布號 CN113481604A 申請公布日 2021-10-08
分類號 C30B29/46（2006.01）I;C30B28/12（2006.01）I 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 盧鵬薦;曾小龍;張林;范晨光;夏文俊;胡振權(quán);范小志 申請（專利權(quán)）人 武漢拓材科技有限公司
代理機構(gòu) 湖北天領(lǐng)艾匹律師事務所 代理人 王能德
地址 436000湖北省鄂州市葛店開發(fā)區(qū)光谷聯(lián)合科技城C3-3棟
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種高純碲化鎵多晶合成生產(chǎn)裝置，具體涉及半導體材料制備技術(shù)領(lǐng)域，包括生產(chǎn)底座，所述生產(chǎn)底座上表面的四角處均固定連接有固定支架，且四個固定支架的相對面通過銷軸分別與四個限位框架相遠離的一面固定連接，且四個限位框架相對面的一端通過銷軸與同一個石英帽的外表面活動連接，所述石英帽的下表面設(shè)置有密封圈。本發(fā)明通過設(shè)置限位框架、石英管、石英帽和滑輪，由于限位套固定在石英帽的表面，使得移動石英帽的過程中，石英帽不易出現(xiàn)脫落的情況，且工作人員可以方便的對石英帽進行安裝和拆卸，使得工作人員無需反復切割更換石英帽以及石英管，保障了石英管和石英帽的使用壽命，進而提高了該生產(chǎn)裝置的環(huán)保性。