用于電鍍設(shè)備的晶圓夾具

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201810343833.6 申請日 -
公開（公告）號 CN110387571B 公開（公告）日 2021-07-30
申請公布號 CN110387571B 申請公布日 2021-07-30
分類號 C25D17/06（2006.01）I;C25D7/12（2006.01）I 分類 電解或電泳工藝；其所用設(shè)備〔4〕;
發(fā)明人 姜力;于勇 申請（專利權(quán)）人 頎中科技（蘇州）有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京康信知識產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 代理人 李佳佳
地址 215024江蘇省蘇州市工業(yè)園區(qū)鳳里街166號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種用于電鍍設(shè)備的晶圓夾具，包括一載具、至少一連動環(huán)、至少一電鍍載體、至少一上蓋以及至少一作動桿，載具于其側(cè)壁處以同圓心方式固定著電鍍載體及安裝著可被轉(zhuǎn)動的連動環(huán)，電鍍載體圓周外壁邊緣具有多個定位塊，連動環(huán)圓周外壁底緣局部區(qū)域具有一齒輪區(qū)段，外壁頂緣則具有多個下卡塊；上蓋為環(huán)狀蓋體，環(huán)內(nèi)壁頂緣分布著多個定位凹槽，環(huán)內(nèi)壁底緣則設(shè)有一固定環(huán)，固定環(huán)內(nèi)具有多個上卡塊，作動桿縱向安裝于載具內(nèi)，其局部區(qū)段具有一齒條，齒條與齒輪區(qū)段相嚙合。由此，當(dāng)上蓋覆蓋于電鍍載體后，因定位塊位于定位凹槽內(nèi)而被固定，操作者推動作動桿，利用齒條與齒輪區(qū)段嚙合，進(jìn)而使得連動環(huán)被轉(zhuǎn)動，利用下卡塊契合于上卡塊進(jìn)而旋緊上蓋。