一種紅外探測(cè)器及其制備方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201511031750.6 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN106935676B 公開（公告）日 2019-03-26
申請(qǐng)公布號(hào) CN106935676B 申請(qǐng)公布日 2019-03-26
分類號(hào) H01L31/09（2006.01）I; H01L31/18（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 楊天倫; 毛劍宏 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 浙江玨芯微電子有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海思微知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 上海麗恒光微電子科技有限公司;浙江玨芯微電子有限公司
地址 201203 上海市浦東新區(qū)張江高科技園區(qū)龍東大道3000號(hào)5號(hào)樓501B室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供的紅外探測(cè)器及其制備方法中，包括：提供基板，所述基板表面具有反射層；形成犧牲層、接觸線、熱敏電阻層以及紅外吸收層，所述犧牲層分別位于所述反射層與所述熱敏電阻層之間以及所述熱敏電阻層與所述紅外吸收層之間；去除所述犧牲層，在所述反射層與所述熱敏電阻層之間以及所述紅外吸收層與所述熱敏電阻層之間分別形成空腔。本發(fā)明中，采用兩層犧牲層，最終將兩層犧牲層去除，分別在紅外探測(cè)器中形成兩個(gè)空腔，增加了紅外吸收層的面積，減小紅外探測(cè)器的熱容損失，提高了器件的整體性能。