一種紅外探測器及其制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201511031755.9 申請日 -
公開（公告）號 CN106935677B 公開（公告）日 2018-12-11
申請公布號 CN106935677B 申請公布日 2018-12-11
分類號 H01L31/09（2006.01）I; B81B7/02（2006.01）I; B81C1/00（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 楊天倫; 毛劍宏 申請（專利權(quán)）人 浙江玨芯微電子有限公司
代理機構(gòu) 上海思微知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 上海麗恒光微電子科技有限公司;浙江玨芯微電子有限公司
地址 201203 上海市浦東新區(qū)張江高科技園區(qū)龍東大道3000號5號樓501B室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供的紅外探測器及其制備方法中，包括：提供一基板，所述基板表面具有反射層；形成犧牲層、接觸線、熱敏電阻層以及紅外吸收層，所述犧牲層分別位于所述反射層與所述接觸線之間、所述接觸線與所述熱敏電阻層之間以及所述熱敏電阻層與所述紅外吸收層之間；去除所述犧牲層，在所述接觸線與所述反射層之間、所述熱敏電阻層與所述接觸線之間以及所述紅外吸收層與所述熱敏電阻層之間分別形成空腔。本發(fā)明中，采用多層犧牲層，最終將多層犧牲層去除，分別在紅外探測器中形成多個空腔，增加了熱敏電阻層的面積，使得紅外探測器中的電阻可調(diào)，同時，增加了紅外吸收層的面積，減小紅外探測器的熱容損失，提高了器件的整體性能。