一種生瓷片及LTCC基板表面粗糙度的調(diào)控方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201710767741.6 申請日 -
公開（公告）號 CN107658230A 公開（公告）日 2018-02-02
申請公布號 CN107658230A 申請公布日 2018-02-02
分類號 H01L21/48;C04B35/10;C04B35/622 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 黃昆;黃明富;付振曉 申請（專利權(quán)）人 廣東芯陶微電子有限公司
代理機(jī)構(gòu) 廣州三環(huán)專利商標(biāo)代理有限公司 代理人 廣東風(fēng)華高新科技股份有限公司;風(fēng)華研究院（廣州）有限公司
地址 526000 廣東省肇慶市風(fēng)華路18號風(fēng)華電子工業(yè)城
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種生瓷片及LTCC基板表面粗糙度的調(diào)控方法，屬于半導(dǎo)體制造技術(shù)領(lǐng)域。本發(fā)明生瓷片表面粗糙度的調(diào)控方法包括以下步驟：(a)將帶高分子膜的生瓷片疊放在平整的鋼板上；(b)固定生瓷片、鋼板和高分子膜后，進(jìn)行真空封裝；(c)進(jìn)行等靜壓處理；本發(fā)明LTCC基板表面粗糙度的調(diào)控方法包括按照本發(fā)明方法對生瓷片表面粗糙度進(jìn)行調(diào)控的步驟。本發(fā)明生瓷片表面粗糙度的調(diào)控方法通過對生瓷片進(jìn)行等靜壓處理，實(shí)現(xiàn)生瓷片表面粗糙度的減低與可控，為后續(xù)工藝提供合格的生瓷片。