薄膜熱敏電阻的調(diào)阻方法及薄膜式熱敏電阻的制造方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201710051114.2 申請日 -
公開（公告）號 CN106782951B 公開（公告）日 2019-03-22
申請公布號 CN106782951B 申請公布日 2019-03-22
分類號 H01C7/04（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 呂喆; 沓世我; 何怡飛; 朱佩; 李鵬章; 羅俊堯 申請（專利權(quán)）人 廣東芯陶微電子有限公司
代理機構(gòu) 廣州華進聯(lián)合專利商標代理有限公司 代理人 廣東風華高新科技股份有限公司; 風華研究院（廣州）有限公司; 哈爾濱工業(yè)大學
地址 526020 廣東省肇慶市風華路18號風華電子工業(yè)城
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種薄膜熱敏電阻的調(diào)阻方法和制造方法。該調(diào)阻方法用于在薄膜熱敏電阻的生產(chǎn)過程中對得到的熱敏電阻陣列進行阻值修調(diào)，包括：測量所述熱敏電阻陣列中各個片阻的阻值和溫度，并計算各片阻與目標阻值的偏差；以所述片阻的元件模型和調(diào)阻機的光斑參數(shù)為基礎(chǔ)，通過模擬計算獲得片阻上的蝕坑數(shù)量、位置與片阻的阻值增加率的關(guān)系，并進行多項式擬合得到多項式系數(shù)后保存到數(shù)據(jù)庫中；根據(jù)調(diào)阻機的光斑參數(shù)和所述偏差，從數(shù)據(jù)庫中搜索對應(yīng)的多項式系數(shù)，并通過插值計算，確定阻值修調(diào)策略；調(diào)阻機根據(jù)所述修調(diào)策略進行打點完成調(diào)阻。上述熱敏電阻的調(diào)阻方法和制造方法，可以實現(xiàn)快速而精準的激光調(diào)阻，有助于提高薄膜熱敏電阻阻值精度和生產(chǎn)效率。