寬調(diào)諧范圍光譜成像傳感器

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201811299568.2 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN109269644A 公開(kāi)（公告）日 2020-10-02
申請(qǐng)公布號(hào) CN109269644A 申請(qǐng)公布日 2020-10-02
分類(lèi)號(hào) G01J3/433;G01J3/42;G01J3/02 分類(lèi) 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 劉舒揚(yáng);王天鶴;賈曉東 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 航天光電科技發(fā)展（天津）有限公司
代理機(jī)構(gòu) 中國(guó)兵器工業(yè)集團(tuán)公司專(zhuān)利中心 代理人 周恒
地址 300308 天津市東麗區(qū)空港經(jīng)濟(jì)區(qū)中環(huán)西路58號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明屬于光譜分析技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種寬調(diào)諧范圍光譜成像傳感器，該傳感器是由分布式布拉格鏡形成FP腔結(jié)構(gòu)與圖像傳感器接合或一體式單片集成加工形成的。與現(xiàn)有技術(shù)相比較，本發(fā)明基于MEMS可調(diào)諧法珀腔光譜過(guò)濾原理，提供一種法珀腔與CMOS圖像傳感器單片集成的光譜圖像傳感器結(jié)構(gòu)，形成了具有特定的光譜過(guò)濾分光特性的微型光電圖像傳感器。本發(fā)明對(duì)布拉格鏡的膜系中心波長(zhǎng)進(jìn)行了獨(dú)特的優(yōu)化設(shè)計(jì)，保證了MEMS驅(qū)動(dòng)FP腔長(zhǎng)調(diào)諧波長(zhǎng)的過(guò)程中，濾波帶寬的最優(yōu)化，避免往短波調(diào)諧時(shí)，造成濾波帶寬的迅速惡化，提高了可調(diào)諧光譜成像傳感器的光譜分辨率。