基于等離子環(huán)境的射頻電源測(cè)試系統(tǒng)及測(cè)試方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201711443387.8 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN108107376B | 公開（公告）日 | 2019-12-13 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN108107376B | 申請(qǐng)公布日 | 2019-12-13 |
| 分類號(hào) | G01R31/40（2014.01） | 分類 | 測(cè)量；測(cè)試; |
| 發(fā)明人 | 姚明旭; 朱國(guó)俊; 方毅 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 揚(yáng)州市神州科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京文苑專利代理有限公司 | 代理人 | 江蘇神州半導(dǎo)體科技有限公司 |
| 地址 | 225000 江蘇省揚(yáng)州市邗江區(qū)蜀崗西路19號(hào)1 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明涉及一種基于等離子環(huán)境的射頻電源測(cè)試系統(tǒng)及測(cè)試方法，該系統(tǒng)包括依次連接的匹配器、動(dòng)態(tài)負(fù)載模擬器和等離子環(huán)境模擬設(shè)備。本發(fā)明提供的基于等離子環(huán)境的射頻電源測(cè)試系統(tǒng)，能夠建立與客戶現(xiàn)場(chǎng)條件相似的等離子環(huán)境，能夠基于等離子環(huán)境模擬客戶現(xiàn)場(chǎng)的阻抗點(diǎn)；本發(fā)明提供的基于等離子環(huán)境的射頻電源測(cè)試方法，能夠通過模擬若干阻抗點(diǎn)驗(yàn)證射頻電源在等離子環(huán)境下工作的性能及其可靠性并采集相關(guān)的數(shù)據(jù)，能夠準(zhǔn)確地驗(yàn)證電源的可靠性，澄清電源的故障，可以很好地滿足實(shí)際應(yīng)用的需要。 |
