一種用于旋轉(zhuǎn)器件型光譜橢偏儀系統(tǒng)的電機(jī)光譜儀同步方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202011232895.3 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN112345462B | 公開(kāi)（公告）日 | 2022-06-14 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN112345462B | 申請(qǐng)公布日 | 2022-06-14 |
| 分類(lèi)號(hào) | G01N21/21（2006.01）I | 分類(lèi) | 測(cè)量；測(cè)試; |
| 發(fā)明人 | 張傳維;史玉托;李偉奇;陳軍;郭春付 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 武漢頤光科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 武漢藍(lán)寶石專(zhuān)利代理事務(wù)所（特殊普通合伙） | 代理人 | - |
| 地址 | 430000湖北省武漢市東湖新技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)湯遜湖北路33號(hào)華工科技園·創(chuàng)新基地辦公研發(fā)樓18棟4層5、6、7室 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明涉及一種用于旋轉(zhuǎn)器件型光譜橢偏儀系統(tǒng)的電機(jī)光譜儀同步方法，首先設(shè)置光譜儀積分時(shí)間為t以及采集幀數(shù)為n*N1,進(jìn)行光譜采集并保存；從中提取所有周期內(nèi)所有幀數(shù)在波長(zhǎng)點(diǎn)λ2的光譜數(shù)據(jù)，并繪制光譜曲線圖，得到包含有N1條光譜曲線的曲線圖1，并計(jì)算曲線圖1中光譜曲線線寬D；所述在波長(zhǎng)點(diǎn)λ2的光譜數(shù)據(jù)的特征為該波長(zhǎng)點(diǎn)在不同周期內(nèi)的變化趨勢(shì)為上下震動(dòng)；然后對(duì)所述光譜儀積分時(shí)間t進(jìn)行調(diào)制，并繪制光譜曲線圖，若無(wú)論增加或減小積分時(shí)間，調(diào)制后的光譜曲線圖中光譜曲線線寬均大于調(diào)制前的光譜曲線線寬D，則光譜儀積分時(shí)間t即為最佳積分時(shí)間，此時(shí)電機(jī)與光譜儀同步。 |
