一種基于橢偏儀的光譜匹配校準方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111466890.1 申請日 -
公開（公告）號 CN114384017A 公開（公告）日 2022-04-22
申請公布號 CN114384017A 申請公布日 2022-04-22
分類號 G01N21/21（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 李偉奇;顏凡;陳軍;石雅婷;郭春付;張傳維 申請（專利權）人 武漢頤光科技有限公司
代理機構 武漢藍寶石專利代理事務所（特殊普通合伙） 代理人 寇俊波
地址 430000湖北省武漢市東湖新技術開發(fā)區(qū)金融港四路10號6號樓（自貿區(qū)武漢片區(qū)）
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種基于橢偏儀的光譜匹配校準方法，包括：基于參考檢測系統測量標定樣件的光學表征參數；獲取標定樣件在目標檢測系統測量下的光強諧波信號，并基于所述光強諧波信號計算相應的測量傅里葉系數；基于目標檢測系統的測量傅里葉系數與理論傅里葉系數，對目標檢測系統的系統參數進行校正。本發(fā)明在不改變儀器物理狀態(tài)下，通過光譜匹配校準方法讓檢測系統的參數自適應調整，在保證高精度和穩(wěn)定性的前提下，實現了目標檢測系統和參考檢測系統的測量一致性，滿足實際半導體工業(yè)生產需求。