一種傳感器單晶硅刻蝕裝置的送氣設(shè)備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202210134941.9 申請日 -
公開（公告）號 CN114496711A 公開（公告）日 2022-05-13
申請公布號 CN114496711A 申請公布日 2022-05-13
分類號 H01J37/32（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 奎建明 申請（專利權(quán)）人 淮安納微傳感器有限公司
代理機構(gòu) 江蘇長德知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 -
地址 223000江蘇省淮安市淮陰區(qū)（工業(yè)園區(qū)）南昌路605號三層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及單晶硅刻蝕送氣設(shè)備安全檢測技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種傳感器單晶硅刻蝕裝置的送氣設(shè)備，包括送氣設(shè)備本體，還包括氣體流量計、溫度傳感器、電子顯微鏡和處理器構(gòu)成的檢測系統(tǒng)；處理器用于獲取實時氣體占比向量、實時氣壓變化序列、實時溫度變化序列和實時刻蝕結(jié)果向量；計算實時氣壓向量和溫度的實時穩(wěn)定程度，根據(jù)實時氣壓向量、實時溫度、實時氣壓變化序列、實時穩(wěn)定程度、實時氣體占比向量、實時刻蝕結(jié)果向量和其對應(yīng)的標(biāo)準(zhǔn)數(shù)據(jù)特征之間的差異得到送氣設(shè)備的評價值。本發(fā)明通過該檢測系統(tǒng)對送氣設(shè)備進行了檢測評估，確保了送氣設(shè)備的可靠性，保證了刻蝕結(jié)果的穩(wěn)定性。