一種藍寶石圖形化襯底自動檢測設備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201310710536.8 申請日 -
公開（公告）號 CN103728312A 公開（公告）日 2014-04-16
申請公布號 CN103728312A 申請公布日 2014-04-16
分類號 G01N21/88(2006.01)I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 丁奎 申請（專利權）人 徐州萬邦道路工程裝備服務股份公司
代理機構 徐州支點知識產(chǎn)權代理事務所（普通合伙） 代理人 劉新合
地址 221000 江蘇省徐州市高新技術產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)第二工業(yè)園
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種藍寶石圖形化襯底自動檢測設備，包括計算機系統(tǒng)、載物臺和屏幕。通過采集晶圓表面圖案與正常圖案對比后，將異常區(qū)域圖像反饋到屏幕上，由人工確認，可以大大提高檢驗速度與檢出率。