一種藍(lán)寶石圖形化襯底自動(dòng)檢測設(shè)備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201310710536.8 申請日 -
公開（公告）號 CN103728312A 公開（公告）日 2014-04-16
申請公布號 CN103728312A 申請公布日 2014-04-16
分類號 G01N21/88(2006.01)I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 丁奎 申請（專利權(quán)）人 徐州萬邦道路工程裝備服務(wù)股份公司
代理機(jī)構(gòu) 徐州支點(diǎn)知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 劉新合
地址 221000 江蘇省徐州市高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)第二工業(yè)園
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種藍(lán)寶石圖形化襯底自動(dòng)檢測設(shè)備，包括計(jì)算機(jī)系統(tǒng)、載物臺(tái)和屏幕。通過采集晶圓表面圖案與正常圖案對比后，將異常區(qū)域圖像反饋到屏幕上，由人工確認(rèn)，可以大大提高檢驗(yàn)速度與檢出率。