一種晶舟盒

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201310707175.1 申請日 -
公開（公告）號 CN103730396A 公開（公告）日 2014-04-16
申請公布號 CN103730396A 申請公布日 2014-04-16
分類號 H01L21/673(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 丁奎 申請（專利權）人 徐州萬邦道路工程裝備服務股份公司
代理機構 徐州支點知識產權代理事務所（普通合伙） 代理人 徐州萬邦道路工程裝備服務股份公司
地址 221000 江蘇省徐州市高新技術產業(yè)開發(fā)區(qū)第二工業(yè)園
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種晶舟盒，包括U型盒蓋和放置晶圓的盒體。U型盒蓋內側鍍有反光層，通過鉸鏈與盒體連接。打開合蓋后，通過鍍層的反光與聚焦，可以方便的判斷晶圓的正反面。