一種用于ITO靶材清洗烘干裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201920951199.4 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN210754111U | 公開(kāi)（公告）日 | 2020-06-16 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN210754111U | 申請(qǐng)公布日 | 2020-06-16 |
| 分類號(hào) | B08B3/12(2006.01)I | 分類 | - |
| 發(fā)明人 | 柯尚文;周傳水;李雋;余永強(qiáng);康明鋒;董永亮;范家偉 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 廣東凱盛光伏技術(shù)研究院有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 廣州嘉權(quán)專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 | 代理人 | 左恒峰 |
| 地址 | 528137廣東省佛山市三水區(qū)樂(lè)平鎮(zhèn)齊力大道南5號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種用于ITO靶材清洗烘干裝置，本清洗烘干裝置使用時(shí)，將載有ITO靶材的架子放置于水槽中，通過(guò)純水水喉將純水通入水槽內(nèi)，啟動(dòng)超聲振子開(kāi)始清洗，清洗完成后，通過(guò)排水管將水槽內(nèi)的水排盡，開(kāi)啟電阻加熱棒進(jìn)行烘干；使ITO靶材一次完成清洗烘干，消除ITO靶材在清洗干燥過(guò)程中因轉(zhuǎn)移碰撞造成的殘次品；省去數(shù)個(gè)水槽，縮小設(shè)備占用空間，節(jié)省設(shè)備成本，簡(jiǎn)化工藝流程，提高效率。?? |
