高對(duì)比度光柵垂直腔面發(fā)射激光器及制造方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202010047048.3 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN111211488A 公開（公告）日 2020-05-29
申請(qǐng)公布號(hào) CN111211488A 申請(qǐng)公布日 2020-05-29
分類號(hào) H01S5/183 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 沈志強(qiáng) 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 浙江博升光電科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京志霖恒遠(yuǎn)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 郭棟梁
地址 314116 浙江省嘉興市嘉善縣魏塘街道振源路99號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請(qǐng)公開了一種高對(duì)比度光柵垂直腔面發(fā)射激光器及制造方法，高對(duì)比度光柵垂直腔面發(fā)射激光器，包括：層疊設(shè)置的第一反射器層、有源層及第二反射器層；所述第二反射器層包括氧化物隔離層和光柵層，所述氧化物隔離層位于所述光柵層和所述有源層之間，所述光柵層至少部分區(qū)域設(shè)置有光柵，所述光柵的柵槽延伸至所述氧化物隔離層，所述氧化物隔離層設(shè)置有第一氧化區(qū)域，所述第一氧化區(qū)域支撐所述光柵，所述第一氧化區(qū)域的折射率小于所述光柵的折射率。上述方案，第一氧化區(qū)域?qū)鈻胚M(jìn)行支撐，而并非如現(xiàn)有技術(shù)中的光柵懸浮于凹槽上，因此光柵不易于被損壞，另外，由于第一氧化區(qū)域的支撐作用，光柵可以采用條狀、網(wǎng)狀、柱狀等結(jié)構(gòu)。