垂直腔面發(fā)射激光器的結(jié)構(gòu)及制造方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201911268085.0 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN111029901B | 公開（公告）日 | 2021-06-29 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN111029901B | 申請(qǐng)公布日 | 2021-06-29 |
| 分類號(hào) | H01S5/183（2006.01）I;H01S5/187（2006.01）I | 分類 | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 沈志強(qiáng) | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 浙江博升光電科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京志霖恒遠(yuǎn)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 郭棟梁 |
| 地址 | 518000 廣東省深圳市南山區(qū)桃源街道福光社區(qū)留仙大道3370號(hào)南山智園崇文園區(qū)3號(hào)樓2604 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申請(qǐng)公開了一種垂直腔面發(fā)射激光器的結(jié)構(gòu)及制造方法，其中方法包括：分別形成第一反射器層、氧化層、發(fā)光層及第二反射器層，發(fā)光層具有至少一個(gè)發(fā)光區(qū)域；于各發(fā)光區(qū)域的正上方形成圓形電隔離保護(hù)區(qū)，對(duì)電隔離保護(hù)區(qū)外的區(qū)域進(jìn)行質(zhì)子或離子隔離注入以形成電隔離區(qū)域，電隔離區(qū)域至少覆蓋所述發(fā)光區(qū)域外側(cè)的氧化層。上述方案，電隔離區(qū)域的覆蓋區(qū)域?qū)﹄娏鞯牧鹘?jīng)路徑進(jìn)行局限，使得一個(gè)發(fā)光區(qū)域的正、負(fù)電極、施加電壓后，電流經(jīng)該電隔離區(qū)域所環(huán)繞的非絕緣區(qū)域，而不會(huì)流經(jīng)到電隔離區(qū)域之外，提高了激光器的可靠性。同時(shí)，各發(fā)光區(qū)所流經(jīng)的電流均勻，使得各發(fā)光區(qū)的亮度一致性高，提高了垂直腔面發(fā)射激光器的品質(zhì)。 |
