垂直腔面發(fā)射激光器的結(jié)構(gòu)及制造方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201911268085.0 申請日 -
公開（公告）號 CN111029901A 公開（公告）日 2021-06-29
申請公布號 CN111029901A 申請公布日 2021-06-29
分類號 H01S5/183;H01S5/187 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 沈志強 申請（專利權(quán)）人 浙江博升光電科技有限公司
代理機構(gòu) 北京志霖恒遠(yuǎn)知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 郭棟梁
地址 314116 浙江省嘉興市嘉善縣魏塘街道振源路99號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請公開了一種垂直腔面發(fā)射激光器的結(jié)構(gòu)及制造方法，其中方法包括：分別形成第一反射器層、氧化層、發(fā)光層及第二反射器層，發(fā)光層具有至少一個發(fā)光區(qū)域；于各發(fā)光區(qū)域的正上方形成圓形電隔離保護區(qū)，對電隔離保護區(qū)外的區(qū)域進行質(zhì)子或離子隔離注入以形成電隔離區(qū)域，電隔離區(qū)域至少覆蓋所述發(fā)光區(qū)域外側(cè)的氧化層。上述方案，電隔離區(qū)域的覆蓋區(qū)域?qū)﹄娏鞯牧鹘?jīng)路徑進行局限，使得一個發(fā)光區(qū)域的正、負(fù)電極、施加電壓后，電流經(jīng)該電隔離區(qū)域所環(huán)繞的非絕緣區(qū)域，而不會流經(jīng)到電隔離區(qū)域之外，提高了激光器的可靠性。同時，各發(fā)光區(qū)所流經(jīng)的電流均勻，使得各發(fā)光區(qū)的亮度一致性高，提高了垂直腔面發(fā)射激光器的品質(zhì)。