一種鉭酸鋰芯片的研磨裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201520135368.9 申請日 -
公開（公告）號 CN204546248U 公開（公告）日 2015-08-12
申請公布號 CN204546248U 申請公布日 2015-08-12
分類號 B24B37/005(2012.01)I;B24B37/08(2012.01)I 分類 磨削；拋光;
發(fā)明人 尹明;汪力 申請（專利權(quán)）人 昆山科尼電子器材有限公司
代理機構(gòu) - 代理人 -
地址 215325 江蘇省蘇州市昆山市周莊鎮(zhèn)敏銳路4號昆山科尼電子器材有限公司
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種鉭酸鋰芯片的研磨裝置，包括機臺，機臺上設(shè)有可轉(zhuǎn)動的下研磨盤，下研磨盤為圓形；下研磨盤上設(shè)有能轉(zhuǎn)動的上研磨盤，上研磨盤也為圓形，且直徑與下研磨盤一致；上研磨盤的轉(zhuǎn)動軸心與下研磨盤一致，但轉(zhuǎn)動方向相反；機臺還設(shè)有頻率監(jiān)測裝置，上研磨盤的上端面設(shè)有多個供頻率監(jiān)測裝置的探測頭伸入的通孔，頻率監(jiān)測裝置與驅(qū)動下研磨盤和上研磨盤的電機電氣連接。該實用新型的一種鉭酸鋰芯片的研磨裝置，能提高鉭酸鋰芯片的研磨的成品率，且加工成本低。