一種硅片研磨光學拋光系統(tǒng)及其加工工藝

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201310559536.2 申請日 -
公開（公告）號 CN104625940A 公開（公告）日 2015-05-20
申請公布號 CN104625940A 申請公布日 2015-05-20
分類號 B24B37/04(2012.01)I;B24B37/30(2012.01)I;B24B37/34(2012.01)I;B24B29/02(2006.01)I 分類 磨削；拋光;
發(fā)明人 尹明;汪力 申請（專利權）人 昆山科尼電子器材有限公司
代理機構 - 代理人 -
地址 215325 江蘇省蘇州市昆山市周莊鎮(zhèn)敏銳路4號昆山科尼電子器材有限公司
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種硅片研磨光學拋光系統(tǒng)，包括加熱設備、立軸平面銑磨機和二氧化硅單面拋光機，所述加熱設備包括加熱底座和圓形載盤，所述載盤上表面為光滑的平面，在所述硅片和所述載盤之間設置有粘結蠟層；所述立軸平面銑磨機包括第一機架和第一工作臺，在所述第一工作臺上開設有多個與所述載盤相匹配的圓形腔室，在所述第一機架上方設置有金剛石磨盤；采用本發(fā)明所提供的硅片研磨光學拋光系統(tǒng)，通過加熱設備、立軸平面銑磨機和二氧化硅單面拋光機的相互配合，研磨過程中不使用研磨砂，減少了廢棄物的排放，同時還提高了生產效率，提高了成品率，降低了生產成本。