一種晶片濺射鍍膜補正板的改良結構
基本信息
申請?zhí)?/td> | CN202021874183.7 | 申請日 | - |
公開(公告)號 | CN213113475U | 公開(公告)日 | 2021-05-04 |
申請公布號 | CN213113475U | 申請公布日 | 2021-05-04 |
分類號 | C23C14/34 | 分類 | 對金屬材料的鍍覆;用金屬材料對材料的鍍覆;表面化學處理;金屬材料的擴散處理;真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆;金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕; |
發(fā)明人 | 詹保全 | 申請(專利權)人 | 東莞創(chuàng)群石英晶體有限公司 |
代理機構 | 東莞市展智知識產權代理事務所(普通合伙) | 代理人 | 馮衛(wèi)東;茅小燕 |
地址 | 523000 廣東省東莞市大朗鎮(zhèn)富民中路703號 | ||
法律狀態(tài) | - |
摘要
摘要 | 本實用新型涉及一種晶片濺射鍍膜補正板,尤其是晶片濺射鍍膜補正板的改良。本實用新型一種晶片濺射鍍膜補正板的改良結構包括補正板安裝板(1),補正板(2),其特征在于:補正板安裝板(1)一端呈梳齒狀(11),補正板(2)由若干個方形金屬條(21)組成,梳齒狀(11)個數(shù)與補正板(2)的方形金屬條(21)個數(shù)相等,方形金屬條(21)尾端與插入所述梳齒狀(11)的齒槽,且與補正板安裝板(1)固定連接。補正板(2)需要修補時,可把補正板拆卸下來做打磨修補,或是發(fā)現(xiàn)無法再通過打磨來打到修補時,可通過拆卸更換方形金屬條(21)可達到修補補正板(2),從而達到節(jié)約成本,提高使用率,節(jié)省工時等優(yōu)點。 |
