一種多晶硅鑄錠爐石墨加熱器

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202022542091.5 申請日 -
公開（公告）號 CN213476157U 公開（公告）日 2021-06-18
申請公布號 CN213476157U 申請公布日 2021-06-18
分類號 C30B29/06（2006.01）I;C30B28/06（2006.01）I 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 尹朝潔 申請（專利權(quán)）人 弘朗新材料（上海）股份有限公司
代理機構(gòu) 滄州市宏科專利代理事務所（普通合伙） 代理人 喻慧玲
地址 201607上海市松江區(qū)泖港鎮(zhèn)五厙工業(yè)區(qū)西厙一路18號2棟
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型涉及多晶硅鑄錠的技術(shù)領域，特別是涉及一種多晶硅鑄錠爐石墨加熱器，其通過對坩堝的頂端、底端和側(cè)壁同時加熱，使得坩堝內(nèi)的硅料受熱均衡，便于坩堝內(nèi)的晶體穩(wěn)定地垂直生長，提高晶體質(zhì)量，提高裝置的實用性；包括爐體、三組支撐腿、四組石墨支撐柱、定向助凝塊、底部石墨加熱器、坩堝、側(cè)部石墨加熱器、上蓋、三組石墨連接柱、頂部石墨加熱器和兩組升降機構(gòu)，三組支撐腿的頂端均與爐體的底端連接，四組石墨支撐柱的底端均與爐體的腔室底端連接，四組石墨支撐柱的頂端均與定向助凝塊的底端連接，底部石墨加熱器的底端與定向助凝塊的頂端連接，坩堝放置在底部石墨加熱器的頂端，側(cè)部石墨加熱器套裝在坩堝的外側(cè)。