一種用于大尺寸晶圓厚度及彎曲度檢測的運動平臺

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201910553213.X 申請日 -
公開（公告）號 CN112130419A 公開（公告）日 2020-12-25
申請公布號 CN112130419A 申請公布日 2020-12-25
分類號 G03F7/20 分類 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 姜燕燕;陸敏杰;周俊晨 申請（專利權(quán)）人 無錫星微科技有限公司
代理機構(gòu) 無錫市朗高知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 無錫星微科技有限公司
地址 214000 江蘇省無錫市新吳區(qū)太湖國際科技園菱湖大道200號中國傳感網(wǎng)國際創(chuàng)新園F7-301
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種用于大尺寸晶圓厚度及彎曲度檢測的運動平臺，包括大理石基座，大理石基座上平行設(shè)置有Y1向大理石導(dǎo)軌和Y2向大理石導(dǎo)軌，Y1向大理石導(dǎo)軌和Y2向大理石導(dǎo)軌上分別安裝有Y1向氣浮導(dǎo)向裝置和Y2向氣浮導(dǎo)向裝置，Y1向氣浮導(dǎo)向裝置和Y2向氣浮導(dǎo)向裝置之間垂直連接有平行的X1向?qū)к壓蚗2向?qū)к?，X1向?qū)к壓蚗2向?qū)к壣贤ㄟ^氣浮相互作用設(shè)置有X向氣浮導(dǎo)向裝置，X向氣浮導(dǎo)向裝置上安裝有載物臺。本發(fā)明采用XY雙向雙驅(qū)氣浮導(dǎo)軌，XY導(dǎo)向面均安裝關(guān)節(jié)式氣浮墊，可降低加工安裝精度，從而實現(xiàn)大尺寸晶圓等檢測的運動平臺，且可使載物平面跳動1個微米，以滿足行業(yè)尺寸日愈增大的趨勢和日愈嚴格的檢測要求，且維護簡單，不污染潔凈室。