一種用于大尺寸晶圓厚度檢測平臺
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN201910553310.9 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN112129234A | 公開（公告）日 | 2020-12-25 |
| 申請公布號 | CN112129234A | 申請公布日 | 2020-12-25 |
| 分類號 | G01B11/06(2006.01)I | 分類 | 測量；測試; |
| 發(fā)明人 | 陸敏杰;姜燕燕 | 申請（專利權(quán)）人 | 無錫星微科技有限公司 |
| 代理機構(gòu) | 無錫市朗高知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 無錫星微科技有限公司 |
| 地址 | 214000江蘇省無錫市新吳區(qū)太湖國際科技園菱湖大道200號中國傳感網(wǎng)國際創(chuàng)新園F7-301 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明提供一種用于大尺寸晶圓厚度檢測平臺，包括大理石基座；大理石基座上安裝有一對平行設(shè)置的Y向大理石導軌和Y向大理石導軌，Y向大理石導軌和Y向大理石導軌上分別設(shè)置有Y向滑塊和Y向滑塊，外側(cè)面均設(shè)置有Y向電機定子連接件和Y向電機定子連接件，Y向滑塊和Y向滑塊上均設(shè)置有Y向光柵讀數(shù)裝置，Y向滑塊和Y向滑塊之間通過Y向橫梁件連接構(gòu)成Y向整體滑塊。本發(fā)明載物臺采用中空設(shè)計，Y軸采用Y1/Y2雙向∩型氣浮雙驅(qū)設(shè)計，可提高平臺整體固有頻率，降低加工和調(diào)試難度，保證X向精度及運動速度；且載物面跳動在1微米之內(nèi)，滿足行業(yè)尺寸日愈增大和日愈嚴格的檢測要求；氣浮平臺維護簡單，不污染潔凈室。?? |
