一種采用冷噴涂制備抗輻照鉭涂層的方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202010143434.2 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN111235562A | 公開(kāi)（公告）日 | 2020-06-05 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN111235562A | 申請(qǐng)公布日 | 2020-06-05 |
| 分類號(hào) | C23C24/04 | 分類 | 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕; |
| 發(fā)明人 | 熊天英;唐俊榕;杜昊;王吉強(qiáng);劉晗琿;沈艷芳;楊穎;毛天亮 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第四十七研究所 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 沈陽(yáng)優(yōu)普達(dá)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（特殊普通合伙） | 代理人 | 張志偉 |
| 地址 | 110016 遼寧省沈陽(yáng)市沈河區(qū)文化路72號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明屬于防護(hù)涂層制備領(lǐng)域，具體涉及一種采用冷噴涂制備抗輻照鉭涂層的方法。該方法包括以下步驟：(1)采用冷氣動(dòng)力噴涂技術(shù)，將Al或Ti金屬粉末噴涂到器件基體表面，形成金屬打底涂層；(2)采用冷氣動(dòng)力噴涂技術(shù)，將純Ta粉噴涂到打底涂層上，形成Ta涂層。本發(fā)明有效地避免了制備鉭涂層需要的高溫條件，以及由此帶來(lái)的氧化等性能降低問(wèn)題。本發(fā)明采用冷噴涂制備抗輻照鉭涂層，可以用于電子封裝器件外表面的抗輻照防護(hù)。 |
