一種清除硅基芯片表面硅油粘污的方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111245352.X 申請日 -
公開（公告）號 CN114054420A 公開（公告）日 2022-02-18
申請公布號 CN114054420A 申請公布日 2022-02-18
分類號 B08B3/08（2006.01）I;B08B3/12（2006.01）I;B08B13/00（2006.01）I;H01L21/02（2006.01）I 分類 清潔;
發(fā)明人 周安琪;田愛民;任通;蔡震 申請（專利權(quán)）人 中國電子科技集團公司第四十七研究所
代理機構(gòu) 沈陽科苑專利商標代理有限公司 代理人 于曉波
地址 110032遼寧省沈陽市皇姑區(qū)陵園街20號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種清除硅基芯片表面硅油粘污的方法，屬于集成電路電子封裝技術(shù)領(lǐng)域。該方法使用UV膜將芯片固定，放置于有機溶劑異丙醇中，使用超聲波清洗方法，經(jīng)過對比實驗，設(shè)定超聲波功率270W，頻率26.4KHz，清洗時間5min時，可去除芯片表面硅油粘污，經(jīng)試驗驗證，清洗后不影響芯片性能及組裝可靠性。