基片尋邊裝置和光刻系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202020862719.7 申請日 -
公開（公告）號 CN212256006U 公開（公告）日 2020-12-29
申請公布號 CN212256006U 申請公布日 2020-12-29
分類號 G03F7/20(2006.01)I 分類 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 李華;汪光文;王曉軍;王殿輝 申請（專利權(quán)）人 上海探躍半導(dǎo)體設(shè)備有限公司
代理機構(gòu) 北京品源專利代理有限公司 代理人 上海探躍半導(dǎo)體設(shè)備有限公司
地址 200000上海市浦東新區(qū)宣橋鎮(zhèn)宣秋路210號E幢1樓北側(cè)101室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型實施例公開了一基片尋邊裝置和光刻系統(tǒng)，該基片尋邊裝置基于NIKON I8光刻機進行改進，該基片尋邊裝置包括：載片臺，用于承載基片；反射式傳感器，固定于所述載片臺的承載面?zhèn)?；所述反射式傳感器用于探測所述載片臺上是否存在基片。本實用新型實施例提供的基片尋邊裝置，在NIKON I8光刻機的基礎(chǔ)上，改對射式尋邊為反射式尋邊，以實現(xiàn)對透明襯底和非透明襯底的有效尋邊。??