一種傳片裝置及光刻機(jī)
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN202021336471.7 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN212647260U | 公開（公告）日 | 2021-03-02 |
| 申請公布號(hào) | CN212647260U | 申請公布日 | 2021-03-02 |
| 分類號(hào) | G03F7/20(2006.01)I | 分類 | 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕; |
| 發(fā)明人 | 李華;王曉軍 | 申請（專利權(quán)）人 | 上海探躍半導(dǎo)體設(shè)備有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京品源專利代理有限公司 | 代理人 | 孟金喆 |
| 地址 | 200000上海市浦東新區(qū)宣橋鎮(zhèn)宣秋路210號(hào)E幢1樓北側(cè)101室 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開了一種傳片裝置及光刻機(jī)，其中，傳片裝置包括：定位頂板、定位底板、至少一對(duì)滑動(dòng)手臂和至少一個(gè)裝載手臂；滑動(dòng)手臂可沿設(shè)定軌道往復(fù)運(yùn)動(dòng)；滑動(dòng)手臂用于輸送硅片至定位底板上；定位頂板位于定位底板的上方，使得硅片位于定位底板和定位頂板之間；定位頂板設(shè)置有傳感器支架；傳感器支架設(shè)置有多個(gè)接收傳感器；定位底板上設(shè)置有與接收傳感器一一對(duì)應(yīng)設(shè)置的發(fā)射傳感器；發(fā)射傳感器和接收傳感器用于對(duì)硅片進(jìn)行定位；其中，每對(duì)滑動(dòng)手臂均沿第一方向延伸；在垂直于第一方向上，每對(duì)滑動(dòng)手臂之間的間距范圍為66㎜～70㎜。本實(shí)用新型提供了一種傳片裝置及光刻機(jī)，以實(shí)現(xiàn)能夠?qū)?寸硅片傳輸?shù)膫髌b置。?? |
