4吋規(guī)格notch基片的尋邊裝置和光刻系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202020861795.6 申請日 -
公開（公告）號 CN212256005U 公開（公告）日 2020-12-29
申請公布號 CN212256005U 申請公布日 2020-12-29
分類號 G03F7/20(2006.01)I 分類 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 李華;王曉軍 申請（專利權(quán)）人 上海探躍半導(dǎo)體設(shè)備有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京品源專利代理有限公司 代理人 上海探躍半導(dǎo)體設(shè)備有限公司
地址 200000上海市浦東新區(qū)宣橋鎮(zhèn)宣秋路210號E幢1樓北側(cè)101室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型實(shí)施例公開了一種4吋規(guī)格notch基片的尋邊裝置和光刻系統(tǒng)，該4吋規(guī)格notch基片的尋邊裝置包括：載片臺，用于承載基片；驅(qū)動組件，用于驅(qū)動載片臺上的基片繞其中心旋轉(zhuǎn)；發(fā)射光纖傳感器，固定于載片臺的底部，用于發(fā)射第一光信號，第一光信號照射至基片上；接收光纖傳感器，固定于載片臺的一側(cè)，用于接收第一光信號經(jīng)過基片后形成的第二光信號；處理器，與發(fā)射光纖傳感器和接收光纖傳感器通信連接，并根據(jù)第一光信號對應(yīng)的電信號和第二光信號對應(yīng)的電信號，確定基片的notch位置。本實(shí)用新型實(shí)施例提供的尋邊裝置，對原有尋flat信號的改造，使之具有尋notch功能，即可使Nikon G6光刻機(jī)能夠?qū)崿F(xiàn)4吋規(guī)格notch基片基于notch口的尋邊，滿足技術(shù)需求。??