一種晶圓平邊尋邊裝置和光刻機(jī)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202022036164.3 申請日 -
公開（公告）號 CN213122599U 公開（公告）日 2021-05-04
申請公布號 CN213122599U 申請公布日 2021-05-04
分類號 G03F7/20 分類 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 李華;王曉軍 申請（專利權(quán)）人 上海探躍半導(dǎo)體設(shè)備有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京品源專利代理有限公司 代理人 孟金喆
地址 200000 上海市浦東新區(qū)宣橋鎮(zhèn)宣秋路210號E幢1樓北側(cè)101室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型實(shí)施例公開了一種晶圓平邊尋邊裝置和光刻機(jī)。該晶圓平邊尋邊裝置包括：承載臺，用于承托和固定晶圓；驅(qū)動旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，用于驅(qū)動承載臺并帶動晶圓旋轉(zhuǎn)；光纖束，包括至少一根光發(fā)射光纖和至少一根光接收光纖；光纖束的端口對準(zhǔn)晶圓的邊緣區(qū)域；工控板，與光纖束連接，用于向光發(fā)射光纖提供光信號，光信號經(jīng)晶圓反射形成光反射信號；還用于接收光接收光纖采集的光反射信號，并根據(jù)光接收光纖采集的光反射信號生成平邊到位信號；信號控制板，信號控制板的缺口到位信號端與工控板電連接，信號控制板通過缺口到位信號端接收平邊到位信號。本實(shí)用新型實(shí)施例解決了現(xiàn)有光刻機(jī)只能對缺口型晶圓進(jìn)行尋邊的問題，能夠簡化尋邊裝置的結(jié)構(gòu)，降低成本。