一種便于調(diào)節(jié)高度的雙工位直投式光刻機(jī)
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201922012313.X | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN211427044U | 公開(kāi)（公告）日 | 2020-09-04 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN211427044U | 申請(qǐng)公布日 | 2020-09-04 |
| 分類號(hào) | G03F7/20(2006.01)I | 分類 | - |
| 發(fā)明人 | 肖磊 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 上海探躍半導(dǎo)體設(shè)備有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京華識(shí)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 上海探躍半導(dǎo)體設(shè)備有限公司 |
| 地址 | 200120上海市浦東新區(qū)宣橋鎮(zhèn)宣秋路210號(hào)E幢1樓北側(cè)101室 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種便于調(diào)節(jié)高度的雙工位直投式光刻機(jī)，包括工作箱、轉(zhuǎn)動(dòng)桿、螺桿、電動(dòng)機(jī)和置物板，所述工作箱上安裝有傳送帶，且工作箱上安裝有第一支撐板，并且第一支撐板與第二支撐板相互貼合，所述轉(zhuǎn)動(dòng)桿安裝在連接板上，且轉(zhuǎn)動(dòng)桿與推動(dòng)桿相互連接，并且推動(dòng)桿與承接板相互連接，所述螺桿與工作箱相互連接，且螺桿與承接板相互連接，并且工作箱與轉(zhuǎn)動(dòng)軸相互連接。該便于調(diào)節(jié)高度的雙工位直投式光刻機(jī)，采用可升降裝置，實(shí)現(xiàn)對(duì)第二支撐板高度的調(diào)節(jié)，從而使第二支撐板上安裝的裝置高度發(fā)生改變，便于對(duì)不同厚度的材料進(jìn)行光刻，采用卡合結(jié)構(gòu)，在光刻機(jī)工作過(guò)程中無(wú)法對(duì)裝置打開(kāi)，從而防止工作中的光刻機(jī)對(duì)工作人員造成傷害。?? |
