一種直寫式曝光機用臺面清潔結(jié)構(gòu)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201922182846.2 申請日 -
公開（公告）號 CN211454230U 公開（公告）日 2020-09-08
申請公布號 CN211454230U 申請公布日 2020-09-08
分類號 G03F7/20(2006.01)I 分類 -
發(fā)明人 肖磊 申請（專利權(quán)）人 上海探躍半導(dǎo)體設(shè)備有限公司
代理機構(gòu) 北京華識知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 上海探躍半導(dǎo)體設(shè)備有限公司
地址 200120上海市浦東新區(qū)宣橋鎮(zhèn)宣秋路210號E幢1樓北側(cè)101室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種直寫式曝光機用臺面清潔結(jié)構(gòu)，包括曝光機本體、風(fēng)機管道和電動機，所述曝光機本體的內(nèi)側(cè)安裝有玻璃臺面，且玻璃臺面的上方設(shè)置有清潔輥，所述清潔輥的外側(cè)連接有防護塊，所述清潔輥的表面預(yù)留有吸塵孔，且清潔輥的兩端通過進氣管和連接管相連，所述進氣管的外側(cè)套設(shè)有齒輪，且齒輪下方的曝光機本體上固定有固定板，所述連接管的外側(cè)套設(shè)有套塊，所述電動機安裝在曝光機本體的外側(cè)，且電動機的端頭處連接有電機軸。該直寫式曝光機用臺面清潔結(jié)構(gòu)，通過粘塵貼以及吸塵的方式對臺面上灰塵進行清理，能夠更好的提升清潔效率，也無需對粘塵貼頻繁更換，并且設(shè)有對臺面進行保護的機構(gòu)，能夠避免對臺面造成損壞。??