一種新型高速數(shù)字掃描直寫光刻裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201420232691.3 申請日 -
公開（公告）號 CN203825365U 公開（公告）日 2014-09-10
申請公布號 CN203825365U 申請公布日 2014-09-10
分類號 G03F7/20(2006.01)I 分類 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 李平貴;張國龍;馬迪 申請（專利權(quán)）人 銅陵國譽融資擔保有限公司
代理機構(gòu) 張家港市高松專利事務(wù)所（普通合伙） 代理人 蘇州微影光電科技有限公司;蘇州微影激光技術(shù)有限公司
地址 215636 江蘇省蘇州市張家港市大新鎮(zhèn)海壩路蘇州微影光電科技有限公司
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種高速數(shù)字掃描直寫光刻裝置，包括光源，光學照明系統(tǒng)，可編程圖形發(fā)生器，投影光學系統(tǒng)，高速精密移動平臺等五部分。曝光光束從光源發(fā)出，進入光學照明系統(tǒng)，準直成平行均勻的面光源投影至可編程圖形發(fā)生器，而此時可編程圖形發(fā)生器上的圖形信息伴隨光線進入投影光學系統(tǒng)，曝光光線穿過投影光學系統(tǒng)，最后投影成像在高速精密移動平臺的基底上。本實用新型可以省去掩膜版或菲林版的加工工序，并能數(shù)十倍的提升可編輯圖形發(fā)生器的刷新頻率，從而提高產(chǎn)品的加工速率，改善了產(chǎn)品加工的良率。制作工藝簡單，降低了產(chǎn)品的生產(chǎn)成本。