一種石墨基座
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN202020747685.7 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN212077198U | 公開（公告）日 | 2020-12-04 |
| 申請公布號 | CN212077198U | 申請公布日 | 2020-12-04 |
| 分類號 | C30B25/12(2006.01)I | 分類 | 晶體生長〔3〕; |
| 發(fā)明人 | 王作義;康宏;雒林生;卞小玉;韓立瓊 | 申請（專利權）人 | 四川廣瑞半導體有限公司 |
| 代理機構 | 成都行之專利代理事務所（普通合伙） | 代理人 | 唐邦英 |
| 地址 | 629000四川省遂寧市國開區(qū)玉龍路598號創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)孵化中心4011號 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實用新型公開了一種石墨基座，包括基座本體，所述基座本體的上端面設置有多個載臺，所述載臺凸出于基座本體，所述基座本體的上端面在載臺的外側設置有多個限位塊，多個限位塊沿著載臺外圓周均勻布置，所述限位塊的高度大于載臺的高度，所述限位塊內壁與硅片的外壁接觸。本實用新型實現了盡可能減少硅片裝取時與石墨基座的接觸面積，且便于硅片的取放。?? |
