一種具有泄氣開關結構的MEMS麥克風

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110519541.5 申請日 -
公開（公告）號 CN112954561A 公開（公告）日 2021-06-11
申請公布號 CN112954561A 申請公布日 2021-06-11
分類號 H04R19/04;H04R7/08 分類 電通信技術;
發(fā)明人 王晶晶 申請（專利權）人 山東新港電子科技有限公司
代理機構 濰坊中潤泰專利代理事務所（普通合伙） 代理人 田友亮
地址 261200 山東省濰坊市坊子區(qū)正泰路1369號7號樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種具有泄氣開關結構的MEMS麥克風，所述PCB板上設有與第一音孔連通的導音槽，所述MEMS芯片與PCB板的導音槽之間設有柔性件，所述柔性件覆蓋導音槽形成導音通道，所述柔性件上設有第二音孔，所述導音通道遠離第一音孔的一端連通有第三音孔，所述導音通道在第二音孔與第三音孔之間設有泄氣開關結構，通過導音通道和多個第三音孔設置，實現降低氣流沖擊的壓力峰值，導音通道和多個第三音孔在強氣流下起到分流泄氣的作用，防止強氣流沖擊MEMS芯片振膜，防止振膜破裂、麥克風功能失效等問題，提高MEMS麥克風的抗氣流沖擊性能，延長麥克風使用壽命。而且本申請確保了實現抗氣流沖擊的同時保持MEMS麥克風小型化的目標。