一種具有泄氣開(kāi)關(guān)結(jié)構(gòu)的MEMS麥克風(fēng)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110519541.5 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN112954561B 公開(kāi)（公告）日 2021-07-27
申請(qǐng)公布號(hào) CN112954561B 申請(qǐng)公布日 2021-07-27
分類號(hào) H04R19/04（2006.01）I;H04R7/08（2006.01）I 分類 電通信技術(shù);
發(fā)明人 王晶晶 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 山東新港電子科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 濰坊中潤(rùn)泰專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 田友亮
地址 261200山東省濰坊市坊子區(qū)正泰路1369號(hào)7號(hào)樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種具有泄氣開(kāi)關(guān)結(jié)構(gòu)的MEMS麥克風(fēng)，所述PCB板上設(shè)有與第一音孔連通的導(dǎo)音槽，所述MEMS芯片與PCB板的導(dǎo)音槽之間設(shè)有柔性件，所述柔性件覆蓋導(dǎo)音槽形成導(dǎo)音通道，所述柔性件上設(shè)有第二音孔，所述導(dǎo)音通道遠(yuǎn)離第一音孔的一端連通有第三音孔，所述導(dǎo)音通道在第二音孔與第三音孔之間設(shè)有泄氣開(kāi)關(guān)結(jié)構(gòu)，通過(guò)導(dǎo)音通道和多個(gè)第三音孔設(shè)置，實(shí)現(xiàn)降低氣流沖擊的壓力峰值，導(dǎo)音通道和多個(gè)第三音孔在強(qiáng)氣流下起到分流泄氣的作用，防止強(qiáng)氣流沖擊MEMS芯片振膜，防止振膜破裂、麥克風(fēng)功能失效等問(wèn)題，提高M(jìn)EMS麥克風(fēng)的抗氣流沖擊性能，延長(zhǎng)麥克風(fēng)使用壽命。而且本申請(qǐng)確保了實(shí)現(xiàn)抗氣流沖擊的同時(shí)保持MEMS麥克風(fēng)小型化的目標(biāo)。