一種MEMS熱電堆紅外探測器及其制作方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110380036.7 申請日 -
公開（公告）號 CN112802956B 公開（公告）日 2021-07-27
申請公布號 CN112802956B 申請公布日 2021-07-27
分類號 H01L35/28（2006.01）I;B81B7/00（2006.01）I;B81B7/02（2006.01）I;G01J5/12（2006.01）I;H01L35/34（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 不公告發(fā)明人 申請（專利權(quán)）人 山東新港電子科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 濰坊中潤泰專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 田友亮
地址 261200山東省濰坊市坊子區(qū)正泰路1369號7號樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開一種MEMS熱電堆紅外探測器及其制作方法，該紅外探測器包括：襯底，設(shè)有隔熱腔體；支撐層，形成于襯底的上表面；熱電堆單元，形成于支撐層上，從下至上依次包括第一熱偶層、第一絕緣層和第二熱偶層，且第一、第二熱偶層通過第一絕緣層中的第一接觸孔連接；第二絕緣層、電磁屏蔽層、紅外吸收層，依次形成于熱電堆單元上，且對紅外吸收層和第二絕緣層局部刻蝕出第二接觸孔。本發(fā)明通過在紅外吸收層下方設(shè)置可接地的電磁屏蔽層，實(shí)現(xiàn)電磁屏蔽，從而有利于減小測量誤差，提高探測器的可靠性；此外，該電磁屏蔽層還可對被測物體產(chǎn)生的紅外輻射進(jìn)行反射，有助于紅外吸收層進(jìn)行二次吸收，從而提高其紅外吸收率，增強(qiáng)紅外探測性能。