一種勻流板、進(jìn)氣裝置及外延設(shè)備

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202210109814.3 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN114481309A 公開（公告）日 2022-05-13
申請(qǐng)公布號(hào) CN114481309A 申請(qǐng)公布日 2022-05-13
分類號(hào) C30B25/08（2006.01）I;C30B25/14（2006.01）I;C30B25/16（2006.01）I;C23C16/455（2006.01）I;C23C16/52（2006.01）I 分類 晶體生長(zhǎng)〔3〕;
發(fā)明人 劉自強(qiáng);燕春;楊進(jìn) 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 江蘇天芯微半導(dǎo)體設(shè)備有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海元好知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 -
地址 214000江蘇省無錫市新吳區(qū)新梅路58號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種勻流板，用于外延設(shè)備的進(jìn)氣裝置，包含：勻流板主體，包括相對(duì)的第一平面以及第二平面；多個(gè)第一臺(tái)階和多個(gè)第二臺(tái)階，多個(gè)所述第一臺(tái)階設(shè)置于所述第一平面，多個(gè)所述第二臺(tái)階設(shè)置于所述第二平面；所述多個(gè)第一臺(tái)階分別與所述多個(gè)第二臺(tái)階位置對(duì)應(yīng)；多組通孔，每一組通孔對(duì)應(yīng)設(shè)置于一個(gè)第一臺(tái)階，所述通孔依序穿設(shè)所述第一臺(tái)階、勻流板主體、第二臺(tái)階，用于在所述外延設(shè)備的工藝期間提供通過所述勻流板的氣體通道；多個(gè)所述第一臺(tái)階、多個(gè)所述第二臺(tái)階分別嵌入進(jìn)氣焊件、進(jìn)氣插入件內(nèi)，用于減小勻流板與進(jìn)氣焊件、進(jìn)氣插入件之間的間隙，防止勻流板的振動(dòng)。