一種晶圓傳輸用機(jī)器人末端托片及半導(dǎo)體設(shè)備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202121286466.4 申請日 -
公開（公告）號 CN215815831U 公開（公告）日 2022-02-11
申請公布號 CN215815831U 申請公布日 2022-02-11
分類號 H01L21/687（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I;H01L21/677（2006.01）I;H01L21/68（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 楊永雷;燕春;楊進(jìn) 申請（專利權(quán)）人 江蘇天芯微半導(dǎo)體設(shè)備有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海元好知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 曹媛;張雙紅
地址 214028江蘇省無錫市新吳區(qū)行創(chuàng)四路7號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型提供一種晶圓傳輸用機(jī)器人末端托片及半導(dǎo)體設(shè)備，所述機(jī)器人末端托片形成有一向內(nèi)凹陷的用于承載晶圓的承載區(qū)域，所述承載區(qū)域內(nèi)包括相連接的第一自定心接觸面和第二自定心接觸面；所述第二自定心接觸面在所述凹陷內(nèi)的位置低于所述第一自定心接觸面在所述凹陷內(nèi)的位置，所述第二自定心接觸面的傾斜角度小于所述第一自定心接觸面的傾斜角度；在自定心結(jié)束后，所述第二定心接觸面作為所述晶圓的支撐面。本實用新型能夠保證傳輸過程中晶圓會自動定心到達(dá)理想位置。