一種襯套及晶圓預(yù)處理裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202210053490.6 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN114420526A 公開(kāi)（公告）日 2022-04-29
申請(qǐng)公布號(hào) CN114420526A 申請(qǐng)公布日 2022-04-29
分類號(hào) H01J37/32（2006.01）I;B08B7/00（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 劉自強(qiáng);燕春;楊進(jìn) 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 江蘇天芯微半導(dǎo)體設(shè)備有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海元好知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 徐雯瓊;張雙紅
地址 214142江蘇省無(wú)錫市新吳區(qū)新梅路58號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種用于晶圓預(yù)處理裝置的襯套，包括：環(huán)形側(cè)壁，所述環(huán)形側(cè)壁包括上環(huán)部和下環(huán)部；所述上環(huán)部設(shè)置有至少兩組通氣孔組，所述通氣孔組由貫穿襯套內(nèi)表面和外表面的若干個(gè)通氣孔構(gòu)成，每一組通氣孔組沿著襯套的周向分布一圈。通過(guò)在襯套上設(shè)置多組通氣孔組，加大了氣流排出的流量，從而可以減小氣流在腔體內(nèi)淤積導(dǎo)致的分布不均勻，且多組通氣孔組之間是上下排布的，避免了僅在某一平面抽氣帶來(lái)的氣流湍急。