一種用于外延設(shè)備的氣體管路及外延設(shè)備
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202122971524.3 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN216972741U | 公開(kāi)（公告）日 | 2022-07-15 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN216972741U | 申請(qǐng)公布日 | 2022-07-15 |
| 分類(lèi)號(hào) | C30B25/14（2006.01）I;C30B25/08（2006.01）I | 分類(lèi) | 晶體生長(zhǎng)〔3〕; |
| 發(fā)明人 | 尹寧;燕春;楊進(jìn) | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 江蘇天芯微半導(dǎo)體設(shè)備有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 上海元好知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | - |
| 地址 | 214028江蘇省無(wú)錫市新吳區(qū)行創(chuàng)四路7號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型涉及用于外延設(shè)備的氣體管路及外延設(shè)備，所述用于外延設(shè)備的氣體管路包括：上游管路、下游管路、可拆卸緊固裝置、限流器和防沉積環(huán)，所述防沉積環(huán)設(shè)置在限流器與上游管路的接頭之間和/或限流器與下游管路的接頭之間，所述防沉積環(huán)包括面對(duì)限流器的第一表面和與之相對(duì)的第二表面，所述第二表面具有從所述接頭的內(nèi)壁向限流器延申的坡面。所述坡面可以很好地防止工藝氣體在氣體管路的直角角落沉積，從而抑制了沉積物形成顆粒物進(jìn)入反應(yīng)腔，避免了工藝的失敗。 |
